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半导体芯片检查显微镜

半导体检查显微镜是我司为半导体行业专业开发的半导体检查显微镜,高性价比,适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察量测需求。 高灵敏度载物台可以迅速决定位置。

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产品介绍

半导体检查显微镜是我司为半导体行业专业开发的半导体检查显微镜,高性价比,适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察量测需求。 高灵敏度载物台可以迅速决定位置。

参数规格:




测量范围(mm)

X

200

300

400

Y

150

200

300

Z

150

150

150

工作台
(mm)

铝合金台面

400*280

500*350

600*500

玻璃台面

245*192

350*250

450*350

15Kg

影像及

CCD

630万 1/1.8"高分辨率彩色相机/HDMI智能量测相机

测量系统

光学系统

无限远色差校正光学系统

三目观察筒

三目观察筒(分光比50:50),0.65X CTV接口

目镜

PL10X/22平场高眼点目镜(其中1只十字刻度)

5X物镜(明场半导体物镜), 5X/0.15    WD  44mm

10X物镜(明场半导体物镜),10X/0.3    WD  34mm

20X物镜(明场半导体物镜),20X/0.35   WD  29mm

50X物镜(明场半导体物镜),50X/0.5    WD  17mm

显示分辨率

0.001mm

测量精度

X/Y轴

(3+L/200)um

Z轴(选配)

(5+L/200)um

2um

调焦系统

Z轴行程150mm,

粗微调同轴,左右手柄(粗调:40mm/圈、微调:0.02mm/圈)

照明系统

反射:柯勒照明系统,5W白色LED

透射:5W白色LED,

偏光装置

直偏、检偏器

台式电脑

8G/500G/DVD/键鼠/+21.5液晶显示器

测量软件

二维几何量测量功能主要包括:两点间距离、点到直线的距离、角度、圆心距;十字线显示,

校正片

0.01mm

90~240V电压,50HZ

仪器重量

320Kg、

可供附件

0.5X CTV接口

DIC微分干涉片

100X物镜(明场无限远),   100X/0.80    WD2.1mm选配